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前面的章节描述了近场扫描微波显微镜 (NSMM),同时讨论了底层操作理论和仪器的实际考虑。NSMM 和相关显微镜的主要应用领域是具有纳米级空间分辨率的宽带局部材料计量。本章回顾了几种空间分辨材料表征方法。我们首先回顾一下电磁材料计量学的基本概念。此外,由于从 NSMM 测量中提取定量信息需要对测量系统进行适当的建模,我们将描述对探针-材料相互作用进行建模的策略。一旦建立了基本概念和模型,我们将回顾基于扫描探针的计量学在电磁材料局部表征中的几种应用。
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