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本文对机器人技术和工业应用中微机械系统（MEMS）的当前应用进行了综述。mems在我们的日常生活以及自动线和工业应用方面广泛用作执行器或传感器。建立新的聚合物和复合材料的交集，例如硅和微型制造技术进行微型缓存和微型组装，带来了MEMS设备的应用和效率的重新增长。mems表示，尺寸降低，更高的可靠性，多功能性，cus tomized Design和功率使用情况方面有很大改善。在机器人技术和工业应用中使用的各种设备和技术的演示以及硅在传感器开发中的使用和作用中进行了说明。还讨论了一些未来的趋势及其观点。
将微电力系统（MEM）应用于传感器：评论
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