机构名称：
¥ 1.0
DRP配置功能现在已进一步扩展，以支持共同散布和共反应性溅射。drp 2.5使用磁控管输出配置，但具有两个或更多不同的目标材料，形成单个薄膜材料，其中包含两个或多个组成元素。没有其他磁控管输出配置（例如此）可用于共同启动或共反应溅射。这种构型产生了几个重要的好处，包括：1）较低的底物加热，这对于热敏感的底物（即塑料，包括聚对苯二甲酸酯[PET]，最常见的热塑性塑料等非常重要）； 2）比标准双极，双磁孔溅射（DMS）明显高的沉积速率； 3）较低的弧产生导致较低的颗粒产生。对于诸如PET之类的材料的网络涂料，较低的底物加热至关重要。
动态反向脉冲2.5：在薄膜涂料技术中解决关键障碍
主要关键词
相关文件推荐
