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摘要:提出了一个分析子阈值摇摆(SS)模型,以观察当堆叠的SIO 2-中的FERROCTRIC结构用作无连接双门(JLDG)MOSFET的氧化物膜时,SS的变化。60 mV/dec的SS对于在保持晶体管性能的同时减少功率耗散至关重要。如果使用具有负电容(NC)效应的铁电材料,则可以将SS降低到60 mV/dec以下。使用2D电势分布,SS与从漏极电流和栅极之间的关系得出的SS相吻合。作为分析SS模型得出的结果,发现通过调节硅频道,SIO 2和铁电的厚度,也可以在15 nm通道长度下获得60 mV/dec的SS。,随着SIO 2的厚度的增加,SS根据铁电厚度的变化饱和,并且随着硅通道的厚度减小,几乎是恒定的。

实验和模型

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