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•[背景电子]电子是通过背景气中的离子中性碰撞形成的,并且通过与提取器部分的金属电极以及与梁目标的离子碰撞形成次级电子。背景电子的空间充电性中和特征是理想的特征,因为它可以防止离子光束“空间充电爆炸”。然而,从离子束目标形成的次生形成的冷电子使束电流的测量通过电流到偏置的收集器板上。

基本离子源

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