由MEMS技术制造的压电性冲击加速度计具有低功耗,同时仍以大于50公斤的加速度提供+/- 200 mV的全尺度输出。加速度计与用于调节应变量表的相同类型的4线电路电气兼容,并且由于与应变计相比,它们的输出要大得多,因此信号放大的需求大大降低了。与机械隔离的ICP®加速度计相比,它们具有更大的工作温度范围。他们的频率响应(取决于模型)可以从直流(0 Hz)到高达20 kHz的值均匀。为了减轻响应的严重性时,当它们的谐振频率被激发时,它们结合了挤压膜阻尼,达到了0.02至0.06的临界值。这些阻尼值远高于传统MEMS加速度计中的阻尼值。由于硅是一种脆性材料,因此还合并了范围停止以最大程度地减少传感元件的破裂,然后将传感元件密封在密封包装中。在可比的G级别上,MEMS技术使单个加速度计的最小封装大小。
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