机构名称：
¥ 1.0
纳米定位和纳米轴承机用于在25 mm x 25 mm x 5 mm的范围内进行三维坐标测量，分辨率为0.1 nm。其独特的sens sentement在所有三个坐标轴上都提供了无误差测量。用于长度测量值的三个微型平面镜面干涉仪的测量轴实际上与探针传感器的接触点与单个点的测量对象相交。
纳米定位和纳米使用机器NMM-1
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