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Entegris提供最终负载和弹弓样式手柄,可与传统,高调和低调的200 mm工艺晶圆载体一起用于湿加工应用。从天然PFA材料中模制,手柄在许多高纯度,腐蚀性应用中提供了广泛的化学兼容性。坚固,耐用的设计允许可靠地处理传统的过程载体,最高可达50个容量。单件模制结构不需要组装,并且可以使用。
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