机构名称：
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微加工正从核心领域发展到现代科学技术。许多技术机会都源于制造新型微结构或以缩小尺寸重建现有结构的能力。微结构还应提供研究在小尺寸下发生的基本科学现象的机会，例如在纳米结构中观察到的量子限制。然而，微加工的基本用途是微电子学，其应用范围从微分析到微机电系统 (MEMS)。用于执行化学/生化反应和分析的微型系统需要腔体、通道、泵、阀门、储存容器、耦合器、电极、窗口、桥梁等。这些组件的典型尺寸在长度或宽度上在几微米到几毫米的范围内，在深度和高度上在 100nm 和 100µm 之间。由于微加工，基于微系统的设备的一些优势如下：
模块：光刻作者（CW）
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