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本综述论文涵盖了柔顺机构放大器中的各种新兴技术。力放大和变形放大在柔顺机构中是可行的。由柔顺结构组成的位移放大机构在需要准确性、精密性、紧凑性和可靠性的 MEMS 应用中得到了更多的响应。我们可以使用各种类型的柔顺机构的力和位移放大。简要讨论了不同类型的位移机构,如双稳态、混合、斯科特-罗素、自导、比例、正交、棘轮、柔顺机构和力柔顺机构。简要研究了高效压缩模式能量收集器和压电能量收集器等柔顺机构的力放大。本文报告了各种类型的柔顺机构的应用。
主要关键词