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摘要 —本文介绍了一种用于解决晶圆上测试系统中探针-探针泄漏引起的误差项的先进校准方法。介绍了一种新的 12 项误差模型，用于晶圆上测试系统，包括矢量网络分析仪 (VNA)、频率扩展器（如果有）、电缆/波导、探针、探针接触垫和探针-探针泄漏。开发了一种两步校准过程和一种算法，该算法具有四个片上校准标准，包括一个未定义的直通、两对未定义的对称反射（例如开路-开路和短路-短路对）和一对已知匹配负载。此外，还提出了一种改进的匹配负载电路模型以提高精度。已经在 0.2 GHz 至 110 GHz 频率范围的失配衰减器上测试了该校准方法，并将结果与数值模拟和现有校准方法进行了比较。结果表明，衰减器的 |S 11 | 更连续，|S 21 |提高了1.7 dB。显然，所提出的校准方法具有更简单的校准过程和对校准标准的要求不那么严格，而校准标准是毫米波和太赫兹频率下晶圆系统校准的关键。更重要的是，新的校准方法更适合DUT具有可变长度的测量。
一种先进的探头泄漏校准方法...
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