小型化一直是电子设备的发展趋势,微电子电路与传感器集成化的巨大成就使得微电子设备在当今生活中得到广泛的应用。在设备小型化的背景下,对微型电池的需求不断增加。为保证微电子设备能够有效供电,必须在其尺寸受限的情况下进一步提高其能量和功率密度。在探索高容量电池活性材料的同时,发展制备技术以有效发挥材料的潜力至关重要。传统的电极制备方法,如电化学沉积[1-2]、化学气相沉积(CVD)[3-4]、物理气相沉积(PVD)[5-6]和原子层沉积(ALD)[7],需要洁净室、昂贵的设备和复杂的操作工艺,制约了小尺寸能源装置的制造速度。
主要关键词