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摘要 — 迁移引起的金属互连性能下降日益威胁着集成电路的可靠性。迁移导致的故障风险不仅在每个新技术节点中都在上升,而且还制约着互连结构的小型化。除了直流线路(例如供电网络)、信号和时钟线路也日益因迁移而性能下降。本文总结了我们目前在避免迁移引起的集成电路故障方面的知识。在介绍和讨论迁移机制之后,我们将重点关注日益增长的电迁移敏感性和热迁移日益增加的影响。展望未来,我们将回顾将迁移约束和缓解措施纳入布局综合的新型 IC 设计策略。索引术语 — 电迁移、应力迁移、热迁移、可靠性、物理设计、迁移稳健性

避免 IC 互连中因迁移而导致的故障

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