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微尺度选择性激光烧结是一种新颖的增材制造工艺,用于制造具有微尺度分辨率的零件,适用于小特征尺寸至关重要的微电子行业。该工艺通过烧结纳米颗粒来更好地控制特征尺寸。要了解用该工艺制造的零件的机械强度,必须能够量化制造零件的密度。然而,用该工艺制造的零件太薄,无法进行物理处理以测量密度,但可以测量这些零件的电阻。因此,为了获得这些零件的密度,必须了解电阻和密度之间的关系。因此,本文介绍了一项对烧结铜纳米颗粒进行的实验研究,以将密度与电阻联系起来。

烧结铜电阻率的研究

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