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摘要：针对传统检测方法在IC外观缺陷检测中存在的识别率不高、识别速度慢的问题，提出一种IC外观缺陷检测算法IH-ViT。提出的模型利用CNN和ViT各自的优势，从局部和全局两个角度获取图像特征，最终将两种特征融合进行决策判断缺陷类别，从而获得更高的IC缺陷识别准确率。针对IC外观缺陷主要体现在细节上的差异，传统算法难以识别的问题，对传统ViT进行了改进，在batch内部进行了额外的卷积操作。针对数据集来源多样导致的样本信息不平衡问题，采用双通道图像分割技术，进一步提高IC外观缺陷的识别准确率。最后经过测试，提出的混合IH-ViT模型取得了72.51%的准确率，比单独的ResNet50和ViT模型分别提高了2.8%和6.06%。所提算法可以快速准确地检测出IC外观缺陷状况，有效提高IC封测企业的生产效率。
IH-ViT：基于视觉变压器的集成电路问世
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