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软X射线很容易被大气吸收,产生相等数量的正离子和负离子。在这些正和负离子的接近中,带电的物体吸引了相反的极性离子,从而消除了对象上的电荷。光子电离是有效的ESD,ESA和污染控制的先进且必不可少的解决方案。
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