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摘要 - 这项工作介绍了悬浮的Y型尼橙酸锂剪切散装的声音谐振器的研究，用于3.5-4.5GHz的频率范围内的宽带滤波器应用。谐振器由硅甲酸锂膜组成，其铝制顶部互插电极（IDE）和浮动底部金属板组成。通过垂直电场激发，在设备的每个单元中生成剪切散装的声波，该单元充当准无依赖的谐振器。在3.7GHz处测量的设备具有较大的相对谐振 - 抗抗抗甲酸带宽为16.7％（750MHz），并在共振下进行2℃。通过蚀刻九叶酸锂和几何优化的沟渠来抑制高阶横向谐波。最后，将优化的谐振器用于过滤器合成，以证明对频段N78的潜在用途，并讨论了结果。
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