摘要:薄膜硅锂(TFLN)是一个有前途的电磁光(EO)光子平台,具有高调制带宽,低驱动电压和低光学损耗。然而,已知TFLN中的EO调制可以在长时间尺度上放松。取而代之的是,热通加热器通常用于稳定的偏置,但是加热器会带来交叉言论,高功率和低带宽的挑战。在这里,我们表征了TFLN调节剂的低频(1 MHz至1 MHz)EO响应,研究EO松弛的根本原因,并展示了改善偏置稳定性的方法。我们表明,与弛豫相关的效果可以增强我们设备中跨越1KHz至20kHz的频带的EO调制 - 这是一个反直觉的结果,可以混淆TFLN调制器中半波电压(Vπ)的测量。我们还表明,通过控制LN金属界面和退火,可以通过10 4倍的速度减慢EO放松,从而为寿命稳定的EO偏置提供了进步。这种强大的EO偏置将使跨言,功率和偏置带宽至关重要的TFLN设备的应用,例如量子设备,高密度集成光子学和通信。
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