相移的空间分辨高度响应...
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摘要。在用于图形计量的相移干涉仪性能评估中,高度响应或高度传递函数很少被考虑,因为在大多数应用中,测量的是光滑表面,并且只关注最低的空间频率。对于不确定度较低的测量,重要的是要了解高度响应作为被测表面的空间频率内容的函数,特别是当它包含频率位于干涉仪空间频率通带高端的形状误差分量时。使用一个直径为 140 毫米的图案区域镜子来评估光谱响应,该镜子由几个具有不同空间频率的子图案组成。我们的目标是开发一种方法,以有效地映射相移干涉仪圆形视场上的光谱响应。描述了一种表示光谱响应对干涉仪视场依赖性的新方法。 © 2010 光学仪器工程师协会。� DOI:10.1117/1.3488052 �

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