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最近,随着无线技术的快速发展,人们对射频操作下纳米级设备的性能和可靠性表征的兴趣日益浓厚。到目前为止,直流可靠性方法被广泛使用,在大多数情况下都需要保护带。然而,随着技术达到缩放极限,设备被推向更高的性能和更严格的保护带。因此,随着可靠性和性能的提高,表征设备老化不仅在传统直流操作方面,而且在动态和高频操作方面也变得越来越重要[1]。BTI 和热载流子注入 (HCI) 是金属氧化物场效应晶体管 (MOSFET) 中的两种主要退化机制。HCI 得到了广泛的研究,其对小信号参数的影响之前已有报道[2]、[3]。从 S 参数表征方面对 HCI 退化的研究使我们能够揭示和监测在传统直流表征方法下看不到的高频参数变化[3]。S 参数表征也有助于理解退化机制和各种应力条件引起的潜在物理扰动效应。然而,据我们所知,目前还没有关于 BTI 对 RF MOSFET 小信号行为影响的报道。为了全面理解和模拟各种应力模式引起的小信号行为,有必要评估晶体管在动态和高频操作下的 BTI 效应。在这项工作中,我们研究了 BTI 应力对全耗尽绝缘体上硅 (FDSOI) MOSFET 小信号参数的影响。

BTI 应力对 FDSOI MOSFET 射频小信号参数的影响

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