机构名称：
¥ 2.0
关键特征的小型化。然而，对栅极长度的要求尤其具有挑战性。在以前的技术节点中，栅极之间的距离相对于栅极长度很大。然而，在现在和未来的技术节点中，栅极之间的距离相对于栅极长度本身很小。这就需要栅极长度的缩放。除了缩小器件尺寸的物理挑战之外，还有一个重大挑战是如何保持晶体管的静电完整性。过去，这是通过栅极电介质缩放、沟道掺杂和扩展优化来实现的。这些传统技术不再能够控制短沟道效应。需要新的设备架构来继续缩放趋势。除了控制静电之外，晶体管性能是每个技术节点的关键。因此，晶体管必须同时具有良好的静电和性能。本章介绍了与传统缩放相关的问题，并探讨了传统缩放的替代方案。
4 全耗尽器件 - FDSOI 和 FinFET
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