机构名称：
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摘要：本文介绍了一种铌酸锂 (LiNbO 3 ) 材料的微加工工艺，用于快速制作医疗器械应用的谐振传感器原型设计。采用激光微加工制造铌酸锂材料样品。使用扫描电子显微镜对表面进行定性目视检查。使用光学表面轮廓仪定量研究表面粗糙度。通过激光微加工可实现 0.526 µ m 的表面粗糙度。在不同工作环境和不同操作模式下检查了激光微加工传感器的性能。该传感器在真空中的品质因数 (Q 因数) 为 646；在空气中的 Q 因数为 222。建模和实验结果之间的良好匹配表明，激光微加工传感器具有用作谐振生物传感器的巨大潜力。
铌酸锂基谐振传感器的激光微加工及其在医疗设备中的应用
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