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物联网 (IOT) 领域中可穿戴设备、智能电子产品和医疗植入物等小型电子设备的市场日益增长，这需要合适的储能设备。锂离子电池 (LIB) 目前是微电子领域的首选电池，因为它们具有较高的重量能量 (W h kg 1 ) 和体积能量 (W hl 1 )。1 然而，传统设计的 LIB（即袋式、棱柱形、圆柱形）难以小型化。另一方面，超级电容器和薄膜电池可以小型化，并且已经用于微电子设备，但却以牺牲能量密度为代价。2 – 5 对于薄膜电池，可以通过实现 3D 结构阴极来提高能量和功率密度。6,7 增材制造微电池是一种很有前途的技术，可以解决与电子设备的集成问题，并且具有
基于硅的 3D 锂离子微电池...
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