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我们很快就要庆祝微机电系统 (MEMS) 诞生 60 周年，自 Nathanson 演示谐振栅极晶体管以来。回顾过去，MEMS 领域取得了长足的发展，在 20 世纪 80 年代实现了商业化，在过去十年的物联网时代，传感器得到了广泛采用和普及。该领域也经历了迅速的发展，渗透到了各个领域。本期特刊旨在关注物理 MEMS，诚邀您撰写有关 MEMS 传感器和 MEMS 执行器的评论和原创成果。我们也欢迎报道 MEMS 新应用的文章，因为趋势需要超越设备而实现系统集成。我们感兴趣的是关于 MEMS 封装技术和挑战的评论和新成果。我们还诚邀您撰写有关 MEMS 材料开发以及 MEMS 可靠性研究的文章。
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