教育和培训 名称 材料科学研究博士学位 XXV 周期 完成日期 2013 年 7 月 2 日 颁发者:卡塔尼亚大学 论文标题 在 (100) 和 (111) 硅晶片上进行化学镀银,通过辅助蚀刻制造纳米线和纳米柱。 http://archivia.unict.it:8080/handle/10761/1293 导师、监督员 Prof. Emanuele Rimini、Prof.ssa Maria Grazia Grimaldi、Dr. Giuseppe D'Arrigo 活动描述 博士论文提出了一种特殊的金属辅助化学蚀刻硅的技术高级研究,该技术是通过将覆盖有金属网络的半导体基板浸入含有氧化剂的溶液中来实现的。金属的存在使氧化优先发生在与基材接触的区域,从而有助于氧化。被氧化的部分会被溶液中含有的酸除去,而产生的凹陷会在起始基底上留下丝状结构。温度、溶液成分和照明会影响这一过程,金属网络的形态和基材的晶体取向也会影响这一过程。该金属是通过化学沉积获得的,将基材浸入含有不同浓度的金属盐(AgNO3、KauCl4、Na2PtCl6)和氢氟酸(HF)的溶液中不同时间。利用 RBS、SEM 和 TEM 研究沉积情况。通过使用各种光刻技术构造的基板,突出了对晶体取向的依赖性,这些基板允许在基板上选择性沉积金属。 TEM 观察
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