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半导体工业和精细化学品的双重安全性 Dockweiler 半导体工业和精细化学品工艺容器在处理有机金属化合物时可确保双重安全性:一方面,在将超纯介质输送到金属有机气相外延 (MOVPE)(一种敏感光电元件的制造工艺)等关键制造步骤时,其设计可保证“工艺安全性”。另一方面,工艺容器由于其绝对密封性(氦泄漏率 ≤ 4.0 x10 -9 mbar ls -1 )和坚固设计,在安全性方面具有额外的优势。
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