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AlN 被广泛用作压电 MEMS 中的压电薄膜。ScN 的添加大大改善了 AlN 有限的性能。Sc 含量达到 43at% 之前，AlScN 结晶为纤锌矿结构，并表现出压电耦合的持续改善。Sc 含量超过 43at% 时，AlScN 恢复为立方结构，不具有压电特性。AlScN 最有利的方法是使用 N 2 气氛中的 AlSc 合金靶材溅射。

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