机构名称：
¥ 1.0
课程描述：本课程旨在向学生介绍微系统的理论、设计、模拟、制造和特性。本学期，课程将重点介绍微机电系统 (MEMS)，学生将学习基本制造技术、MEMS 设备设计和 MEMS 设备模拟。在课程的一部分中，学生还将在 UTEP 的半导体洁净室工作，在那里他们将学习流程并制造他们的 MEMS 设备。制造完成后，学生将对其设计进行特性描述，并向全班展示。课程先决条件：（EE 3325 w/C 或更高以及 EE 3329 w/C 或更高）EE5390 - 研究生水平的学生：参加本课程研究生部分的学生将被要求完成一份额外的报告，并在学期末提交。课程网站：Blackboard 将用于共享演示文稿和讲义的电子副本。教科书：Eun Sok Kim 博士，《微机电系统 (MEMS) 基础》，第 1 版，McGraw Hill，ISBN：9781264257584 UTEP 学生可通过 VPN 获取该教科书的电子版：www.accessengineeringlibrary.com/content/book/9781264257584
MEMS 设计和制造 EE4390 – CRN 27275 – ...
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