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5 轴或 6 轴 CNC 机器（通常称为“箱式机器”）与子孔径抛光技术（例如计算机控制光学表面处理 (CCOS)、磁流变抛光 (MRF) 和离子束定形 (IBF)）结合使用，代表了在非球面和自由曲面光学元件制造中实现亚纳米精度的成熟方法。尽管这些方法有效，但它们的特点是财务负担较大，特别是在大规模生产高端光学元件的情况下。本演讲介绍了一种以机器人系统为中心的新型抛光方法。具体而言，确定性抛光技术（例如 CCOS 和 MRF）与机器人平台协同集成，以实现多功能且经济可行的多轴抛光设备。本演讲深入探讨了机器人 CCOS 和 MRF 系统固有的优点和缺点，阐明了旨在提高机器人抛光过程精度的各种补偿技术。经验证据强调了基于机器人的 CCOS 和 MRF 系统在制造中型非球面或自由曲面光学元件时达到纳米级精度的能力，同时在具有成本效益的框架内运行。
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