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EE407微加工 - 春季11文本：微电源制造简介2E作者：Richard C. Jeager Publisher：Prentice Hall Dr. Todd J。 Kaiser 531 Cobleigh Hall tjkaiser@ece.montana.edu http://www.coe.montana.edu/ee/ee/tjkaiser/办公时间：上午10点，星期三，下午2点2点微电源制造的概述2。光刻3。硅4。扩散5。离子植入6。电影沉积7。互连和联系人8。包装和收益分级材料：家庭作业25％实验室25％中期25％最终实验室报告25％
微电子制造简介2E
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