机构名称：
¥ 2.0
图1：（a）横向设备结构的示意图，（b）悬挂式sin鼓的SEM图像，上面覆盖了25 nm al薄纤维。为了最大程度地减少金属对阻尼的贡献，在大多数夹紧区域中都不存在。16该薄片通过两个矩形Al电极与外部电极连接。（c）最终设备结构的SEM图像，其中Al/sin电容偶联具有悬浮的顶门，以及（d）测量设置的示意图，其中PCB部分上的微波腔以焦糖颜色标记。微波炉通过连接到其悬浮的顶门的粘合线与sin鼓（紫色）耦合。用Al薄片覆盖的Sin鼓通过粘结线连接到两个微带传输线。一个用于驱动机械谐振器，另一个用于通过微波反射方案17检测机械运动。更多详细信息显示在支持信息（SI：纳米化，微波炉重新射击的设置和建模）中。
高Q硅氮气鼓谐振器强烈耦合到...
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