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主要因素，限制了基于电子束基的维修工具的可实现的维修过程分辨率是散射的次级电子和电子束斑点尺寸的量。作为限制修复分辨率的二次电子数量，随着电压的增加而增加下一代维修工具，需要解决较小的特征尺寸，需要以较低的电压运行。否则，随着ELEC TRON梁斑点的尺寸随着电压的降低而增加，下一代蒙版修复工具需要采用电子束柱，即使在低压下，它也显示出高分辨率。新的光掩as维修工具效率®LE使用了新的电子束柱，该圆柱以400V的低电子束电压运行，并显示出改进的系统动力学。这可以修复具有缩小功能尺寸的未来技术节点的光罩。
