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光学微/纳米纤维(MNFS)从二氧化硅纤维中锥形锥度具有有趣的光学和机械性能。最近,具有相同几何形状的MNF阵列或MNF吸引了越来越多的关注,但是,当前的制造技术一次只能吸引一个MNF,具有低绘图速度(通常为0.1 mm/s),并且用于高级控制的复杂过程,从而使其在制造多个MNF方面无效。在这里,我们提出了一种平行制作方法,以同时绘制具有几乎相同几何形状的多个(最多20)MNF。对于大于500 nm的纤维直径,在1550 nm波长下,所有AS绘制MNF的光学透射率超过96.7%,直径偏差在5%以内。我们的结果为MNF的高产量制造铺平了一种方法,该方法可能从基于MNF的光学传感器,光学操作到纤维芯片互连。

二氧化硅光纤维和纳米纤维的平行制造

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