典型的超薄氧化膜由晶体金属支撑物上的单层氧化物材料组成。在某些情况下,薄膜可能由两到三个单层组成,但通常这些超薄膜的厚度不超过一纳米,可以被视为二维材料。1 扫描隧道显微镜 (STM) 是研究这些薄膜的绝佳方法,因为这种技术可以在非常高的放大倍数下对表面进行成像。2 为了获得原子分辨率图像,STM 要求样品具有导电性、无表面污染物并且在原子尺度上平坦。STM 不仅可以揭示表面和薄膜的结构,还可以用于研究原子级缺陷,例如原子空位和杂质 3 或更多扩展结构,例如两个具有不同晶体取向的超薄膜相遇的域边界。STM 还可以对非晶态氧化物膜进行非常详细的研究。