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1. 简介 金属氧化物半导体场效应晶体管 (MOSFET) 是集成电路中使用的主要组件。在过去的二十年里，它已经过时了。随着技术创新，基于硅 MOSFET 的电子设备和电路始终提供效率提升和成本节省，以及系统设计的稳健性 [1][2][3]。CMOS 技术是微芯片生产环境中最有前途的创新之一，它通常用于构建 CPU 的多个不同应用领域，电子设备理应充分利用这些新技术，因为它在集成电路设计中具有许多显著的优势 [9]。在当今的数字存储器中，P 通道和 N 通道半导体系统都用于此应用 [9]。CMOS 系统是当今最常见的 MOSFET 技术之一 [3]。这是微控制器、微处理器模块、存储器和集成电路的主流半导体技术，其用途独特 [4-5]。图 1 显示了从 2005 年到现在的扩展趋势 [15]。
纳米级 CMOS 缩放趋势、挑战及其解决方案
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