玻璃、蓝宝石等透明脆性材料由于其优异的物理化学稳定性和良好的透明性,在消费电子、光电器件等领域受到广泛关注和应用。近几十年来,对透明脆性材料进行高精度、高质量加工的新方法的研究越来越受到重视。在众多技术中,激光加工已被证明是一种加工各种透明脆性材料的有效、灵活的方法。本文总结了激光全切割、激光划片、激光隐形切割、激光丝、激光诱导背面干法蚀刻(LIBDE)和激光诱导背面湿法蚀刻(LIBWE)等一系列激光加工方法,并详细介绍了这些技术在微加工、钻孔切割和图案化中的应用,并讨论了该领域当前面临的挑战和未来的前景。
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