实现了在轴上硅(001)面上直接生长的InGaAs/AlGaAs量子阱激光器的室温连续波工作。首先在金属有机化学气相沉积系统中在硅衬底上生长一层厚度为420 nm、完全没有反相畴的GaAs外延层,然后在分子束外延系统中依次生长其他外延层(包括四组五周期应变层超晶格和激光结构层)。激光器采用宽条法布里-珀罗激光器,条带宽度为21.5 μm,腔长为1 mm。典型阈值电流和相应的阈值电流密度分别为186.4 mA和867 A/cm 2 。激射波长约为980 nm,斜率效率为0.097 W/A,在注入电流为400 mA时单面输出功率为22.5 mW。这一进展使得与量子阱激光器相关的硅基单片光电集成更加有前景,可行性增强。