采用 MEMS 技术制造的压阻式冲击加速度计具有低功耗,同时在加速度水平大于 50 kg 时仍可提供 +/- 200 mV 满量程输出。加速度计与用于调节应变计全桥的同类型 4 线电路在电气上兼容,并且由于它们的输出比应变计大得多,因此对信号放大的要求大大降低。与机械隔离的 ICP ® 加速度计相比,它们具有更宽的工作温度范围。它们的频率响应(取决于型号)可以从 DC(0 Hz)均匀地达到高达 20 kHz 的值。为了减轻其共振频率被激发时的响应严重性,它们采用了挤压膜阻尼,实现了临界值的 0.02 到 0.06。这些阻尼值远高于传统 MEMS 加速度计中的阻尼值。由于硅是一种脆性材料,因此还采用了超量程止动装置以最大限度地减少传感元件的破损,然后将传感元件密封在密封封装中。在相当的 G 级下,MEMS 技术可以使单个加速度计实现最小的封装尺寸。
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