自几十年前诞生以来,纳米技术就被证明是不同基础科学交叉的完美典范。在过去的十年中,经典自上而下光刻技术的不断进步和替代自下而上的精细加工方法的使用使得人们能够制造出新的更小的组件。它们的结合产生了非常复杂和创新的架构。与此同时,出现了灵活、低成本和低生态足迹的设备。因此,多样性和多学科特征对在教育项目中解决这些问题提出了挑战。实践工作对学生来说至关重要,以便他们吸收复杂的理论概念并获得相关技能。在这里,我们分享了通过实践工作向大学生介绍纳米技术的经验。 38 多年来,我们一直致力于微电子器件制造培训,旨在在主要用于教育目的的洁净室中实现器件。此后,我们将介绍 CMOS 技术、传感器(气体、应变等)技术或集成片上储能领域的一些简短(2-5 天)和实践培训。我们将重点介绍每项实践工作的特殊兴趣、要解决的问题以及培训的组织。最后,我们将分享我们针对中学生的经验。
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