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分子,它们可以在电场中加速。这些离子可以以多种方式用于修改或表征材料。例如,离子注入工艺用于创建新的表面合金并修改表面相关特性,例如材料的硬度、耐磨性和摩擦性、耐腐蚀性。它还适用于改变机械、电气、光学和化学性质。离子注入在半导体工业中的应用已经很成熟。离子束辅助涂层和涉及离子束的各种等离子涂层可以使涂层厚度在 1-2 微米范围内。这些可以选择性地应用于各种工业应用,也可以扩展到许多医疗应用,例如生物植入物。离子束工艺将继续在进一步理解和改进材料表面处理方面发挥重要作用。
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