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摘要 在本篇观点文章中，我们评估了使用聚焦电子和离子束直接制造纳米级超导器件及其在量子技术中的应用的当前研究状况。首先，本文介绍了主要的超导器件及其通过标准光刻技术（例如光学光刻和电子束光刻）制造的方法。然后，展示了通过铣削或辐照对超导体进行聚焦离子束图案化，以及通过聚焦电子和离子束诱导沉积来生长超导器件。我们认为这些无抗蚀剂直接生长技术对量子技术的主要好处包括能够制作电纳米接触和电路编辑、制造高分辨率超导谐振器、创建约瑟夫森结和用于尖端传感器的超导量子干涉装置 (SQUID)、图案化高温超导 SQUID 和其他超导电路，以及探索通量电子学和拓扑超导性。
纳米级直写制造超导器件用于量子技术
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