机构名称：
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动力电感探测器（儿童）是超导能量分解检测器，对从近红外到紫外线的单个光子敏感。我们研究了由β-相触觉（β -TA）电感器和NB -TI -N互插电容器组成的杂种KID设计。设备显示的平均内在质量因子Q I为4.3×10 5±1.3×10 5。为了增加光敏感应器捕获的功率，我们在蓝宝石基板的背面打印了150×150 µm树脂微胶片的阵列。设计和印刷镜头之间的形状偏差小于1 µm，并且该过程的比对精度为δx = + 5.8±0.5 µm，δy = + 8.3±3.3 µm。我们测量1545–402 nm的解决功率，在孩子的相响应中限制为4.9。我们可以与光子事件产生的准粒子数量的演化对相响应中的饱和度进行建模。具有线性响应的替代坐标系将分辨能力提高到402 nm的5.9。，我们使用激光源和单色器通过两行测量来验证测得的分辨力。我们讨论了可以在具有高分辨率能力的儿童阵列的途径上对设备进行的一些改进。
n动力电感检测器
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