6.1.1未来设备部分..... 79晶体生长组..... 79表面和界面组.... 88纳米材料设备组..... 96 Energy Conversion设备组..... 99高级设备组..... 106纳米电信设备组..... 111功能集成设备组..... 115 6.1.2多物理模拟部门..... 121 Frontier Computitation Science Group ..... 121 6.1.3先进的物理性能分析部门..... 127⃝Nano电子属性组..... 127 6.1.4系统应用部门..... 128 Power Electronics Group ..... 128高频电路组....13555555。 6.1.5国际访问部.... 136下一代氮化物半导体组.... 136 6.1.6研究策略和联合研究促进部门.... 138 6.2高级测量技术实践中心.... 139
主要关键词