机构名称：
¥ 1.0
我们比较了各种基于镁的液体金属合金离子源（LMAI）的适用性，以便于GAN的可伸缩聚焦离子梁（FIB）植入掺杂。我们考虑GAMG，MGSO 4•7H 2 O，MGZN，ALMG和AUMGSI合金。尽管遇到了氧化问题（GAMG），分解（MGSO 4•7H 2 O）和蒸气压力过大（MGZN和ALMG），但在Wien滤波器滤波器柱中运行的Aumgsi合金LMAIS在一个单独的和二型和二型芯片态度中均具有所有mg isotopes。我们讨论了实现<20nm斑点尺寸Mg Fib植入的工作条件，并通过飞行时间二级离子质谱法（TOF-SIMS）呈现MG深度谱图数据。我们还可以洞悉植入损伤和基于快速热处理前后的阴极发光（CL）光谱的恢复。前景。
1基于MG的液体金属离子源的比较。
主要关键词
相关文件推荐
