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摘要。硅光子学（SIPH）已成为广泛的集成光子应用应用程序中的主要平台，不仅涵盖了主流领域，例如光学通信和微波信号处理，还包括诸如人工智能和量子处理等新兴领域。在大多数SIPH应用中的重要组成部分是光相变器，这对于以最小的光学损失来改变光相至关重要。从历史上看，SIPH相位变速器主要利用了硅的热孔系数进行操作。热光相变（TOPS）具有显着优势，包括与互补金属 - 氧化物 - 半导体技术的出色兼容性以及可忽略不计的光损失的潜力，使其高度可扩展。但是，Tops的固有加热机制使它们渴望渴望和慢速，这是许多应用程序的缺点。我们彻底检查了为实现节能和快速上衣而提出的主要配置和优化策略。此外，我们将上衣与有助于彻底改变SIPH平台上的相位变速器开发的其他电形机制和技术进行了比较。
硅热阶段变速器：配置和优化策略的综述
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