机构名称：
¥ 1.0
，作为铁电记忆应用的有前途的材料。图2显示了计算出的压电耦合系数的图像，该图像通过取下PFM振幅响应并除以所施加的电气偏置来评估。这两个图像以同一悬臂和扫描设置在同一样本位置下以单频PFM模式拍摄。测量值之间的唯一区别是检测器类型。使用基于OBD的AFM获取图2a中的数据。hafnia是一种低响应材料，PFM振幅响应信号完全在OBD噪声下方，因此根本看不到。此图像本质上是对OBD检测器的噪声层的量度。相比之下，图2B中的数据是用基于QPDI的VERO AFM获取的，并且信号对比度清晰可见，因为相比之下，噪声底部现在远远超过了较小的数量级。
VERO干涉测量AFM-精确的进步
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