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摘要。本文重点分析了具有特殊设计规则的不同纳米电子结构，并考虑了未来产品的可靠性。在未来十年，可靠性将在纳米制造行业中发挥更大的作用，纳米制造相当于设计和制造纳米级设备。任何可靠性工作的主要重点是识别故障模式和机制。对于微机电系统 (MEMS) 的新技术尤其如此。高可靠性通常被强调为纳米技术项目的论据。尽管有这些说法，但实际上在纳米技术可靠性领域所做的工作很少，这与微电子形成鲜明对比，微电子现在正在将其可靠性建模扩展到纳米级半导体电路。由于纳米缺陷的性质和海森堡不确定性，纳米制造将为传统模型提供更多变化。纳米技术有可能创造许多具有广泛应用的新材料和设备，例如在医学、电子和能源生产领域。可靠性方面包括电子和机械部件，由于相互作用而变得复杂。 MEMS 技术开发和商业化面临的挑战是证明其可靠性。封装通常被称为“MEMS 制造的致命弱点”。
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