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20 世纪 70 年代，集成电路 (IC) 制造更像是一门“艺术”，每位设计师都必须与操作生产线的人员密切合作，以便定义适当的模式，这些模式与预想的加工顺序一起产生所需的电路行为。但早在 1980 年 [4] 随着“VLSI 系统简介”一书的问世，该领域就发生了新的范式转变。它包括电路元件的系统化、简化和标准化，这使我们能够通过一套规则将技术和制造过程分开。同时，电路的几何形状（尺寸、元件形状和定位限制）以及电路的结构和功能行为都要接受并行分析。Gajski-Kuhn Y 图（图 5）[5] 说明了这种方法。
数字化设计是缩短 MEMS 开发周期的关键方法
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