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摘要 - 与平面,沟槽和双层建筑的不同商业SIC Power MOSFET上进行了加速陆生中子辐照。结果用于计算海平面上的故障横截面和时间(拟合)率。增强的门和排水泄漏,这些设备在暴露期间没有表现出破坏性故障。特别是,对于平面和沟槽栅极MOSFET观察到了不同的机制,第一个显示部分闸门破裂,其中主要是漏极和栅极之间的泄漏路径,类似于以前在重离子上观察到的,而第二个则显示出完整的栅极破裂。讨论了有关不同技术的观察到的故障机制和射线后栅极应力(猪)测试。
主要关键词