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本报告描述了一个3D微电极阵列，该阵列集成在薄膜柔性电缆上，用于小动物的神经记录。微电极阵列制造过程整合了传统的硅薄膜处理技术，并通过两光片光刻在微分辨率下对3D结构进行直接激光写入。虽然之前已经描述过3D打印电极的直接激光写入，但该报告是第一个提供一种与微制作电气轨迹集成的高光谱比率激光写入的结构的方法。一个原型是一个16个通道阵列，该阵列由350 µm长的小腿组成，该柄在带有90 µm螺距的网格上。此处显示的其他设备包括仿生蚊子，这些蚊子穿透了鸟类的硬脑膜和多孔电极，旨在促进组织向内生长或增强神经刺激的电荷注入能力。这些设备只是一个新的设计空间的一些示例，它将启用具有可在单千分尺分辨率下定义的功能的高通道计数3D电极阵列。使用自定义激光作者，3D打印过程很快（1 mm 3 /min）。这种高速打印与标准的晶圆尺度工艺相结合，将实现有效的设备制造和新的研究，以研究电极几何形状和电极性能之间的关系。我们预计在小动物模型，神经界面，视网膜植入物和其他需要小密度3D电极的应用中会产生最大的影响。
在柔性基材上的3D电极的直接激光写入
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